中微MOCVD設備技術性突破大獲LED業界認可
上海2013年11月21日電 /美通社/ -- 中微半導體設備有限公司(簡稱「中微」)的 MOCVD 設備 Prismo D-Blue™於本月舉辦的第十五屆中國國際工業博覽會(簡稱「工博會」)上榮獲銀獎。該產品於今年3月正式發布,是此次獲獎產品中唯一代表半導體外延製程的 MOCVD 設備,該產品技術對於高亮度 LED的大規模生產至關重要。作為生產 LED 芯片的關鍵設備,MOCVD 設備市場一直為歐美企業所壟斷。具有自主知識產權的 MOCVD 設備國產化成功,意味著相關技術長期被國外壟斷的局面將被打破,中國LED 自主產業生態鏈也將更加完善。
圖中人物:上海市科委主任壽子琪,上海藍光科技有限公司技術和質量管理副總裁郝茂盛博士,中微首席運營官兼MOCVD產品事業群總經理杜志遊博士
中國領先的本土 LED 生產商上海藍光科技有限公司是中微的 MOCVD 設備的第一批用戶之一。在祝賀中微獲獎時,藍光公司技術和品質管理副總裁郝茂盛博士特別提出:「中微的設備性能超出了我們的預期,達到了 MOCVD 設備所應具備的高水準表現。中微 MOCVD 設備得此榮譽乃實至名歸。我們很樂於看到中微的 MOCVD 設備能夠在工博會上得到肯定,同時也準備在我們的 LED 生產線中能夠更廣泛地使用中微的設備。」根據工博會評獎管理辦法,銀獎的獲得者必須符合以下條件:第一,屬於全球高科技產業或裝備製造業主導領域的新技術、新產品,達到當代國際先進水平或屬於國內首創;第二,市場競爭力較強,在科技創新和產業化過程中,經濟效益或社會效益相當顯著;第三,必須擁有自主知識產權。只有擁有獨立自主知識產權的產品才可以參與評獎。中微的 MOCVD 設備通過層層嚴格評審,最終在工博會銀獎的獲獎名單中位列榜首。
中微首席運營官兼 MOCVD 產品事業群總經理杜志遊博士表示:「我們非常自豪能夠獲此殊榮。Prismo D-BlueTM 產品是我們 MOCVD 團隊長期堅持不懈努力的結果,同時也離不開供應商和像藍光這樣優質客戶的緊密合作和支持。在中微團隊的創新和努力之下所開發的 MOCVD 設備,幫助客戶提高了 LED 的生產效率,也降低了生產成本,並因此而得到客戶的認同和重視。」
中國國際工業博覽會創立於1999年,是由中國國家發展和改革委員會、中國商務部、中國工業和信息化部、中國科學技術部和上海市人民政府等部門共同主辦的最具國際影響力的工業博覽會。
Prismo D-Blue是中微公司的註冊商標。
關於中微半導體設備有限公司中微公司致力於為全球半導體和LED晶片製造商提供領先的製程技術解決方案。除MOCVD設備以外,公司目前主要提供等離子蝕刻設備和矽穿孔蝕刻設備,用於國際一線積體電路客戶45奈米到20奈米及更先進的晶片加工製造和先進封裝。目前,中微已有200多個蝕刻反應機台在亞洲地區20多條國際領先的生產線上運行。中微開發的用於大批量LED外延片生產的MOCVD設備也已進入生產線運行。
更多訊息請訪問公司網站:www.amec-inc.com。
消息來源 中微半導體設備有限公司